◎產品規格產品標準 本計畫擬開發之超潔凈球閥產品共有1/4“,3/8”,1月2日“三種尺寸。 該計劃擬開發超純度閥門的1/4“,3/8”,1/2“。 ◎技術指標技術指標 工作壓力工作壓力:≦10㎏/㎝2 耐久測試耐久性試驗:≧5000次 泄露率Inborard泄漏率:≦1x10-9 atm.cc/sec 泄漏率泄漏內部率:≦1x10-9 atm.cc/sec 泄漏率舷外泄漏率:≦1x10-9 atm.cc/sec ◎性能需求性能需求 所開發之產品于上述指標環境下,其泄漏率須能符合SEMIF1規范之要求。 開發的產品的泄漏率必須達到上文circumstancesmentioned各項技術指標SEMIF1標準。 |